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上海微电子的28nm光刻机现在到底怎么样了?

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近期唯一的消息是去年下半年试装失败……

都知道光刻机是很多组建拼装到一起的一个高端工业的结晶。组建非常之多,上海微电子其实只是组装适配。

但是组装失败了,目前估计就是在推导验证到底是哪里的问题,需要怎么改。搞不好22年出不来了

已有样机在开机试用并调教中,估计需要一年左右!

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